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特性
ULVAC機工的GLD係列，具有低振動，低噪音及以下優(you) 良性能：
1.氣鎮閥能防止蒸汽（例如水蒸汽）凝縮在泵油內(nei) 。
2.強製給油機構能保證從(cong) 大氣到高真空的整個(ge) 排氣過程中，保持油潤滑和內(nei) 部密封。
3.逆流防止裝置在斷電時能保護真空箱。低溫確保了真空泵創造良好的真空度。強製的油過濾器可濾出泵油的雜質，通過大型刻度易讀的油量計，可以隨時檢查泵油的狀況。
使用指導
為(wei) 了zui大限度的發揮真空泵的*性能，應注意以下幾點：
1.GLD係列可適用於(yu) 廣泛領域，能獲得極低的真空（10-2Pa），配置KF法蘭(lan) 可獲得高真空。為(wei) 發揮zui大性能請使用高真空法蘭(lan) 。
2.GLD係列並不適用於(yu) 有毒或腐蝕性氣體(ti) 。（請選擇GCD係列:p.10）
3.油旋片真空泵並不適用於(yu) 在大氣壓附近連續運轉。
應用
1.科學與(yu) 化學試驗，分析裝置，鐳射相關(guan) 裝置。
2.電子顯微鏡的前級泵係統。
3.半導體(ti) 生產(chan) 係統，濺射係統，真空塗層係統。
4.真空幹燥係統，冷凍幹燥係統。
| 型 號 | 實際排氣速度（L/min.） | 極限壓力 （Pa） | 吸氣管徑 （mm） | 重量 （kg） | 外形尺寸 W×L×H（mm） | 電機 | |
| 功率（W） | 可選電壓（V） | ||||||
| ※ GLD-051 | 50/66 （50/60Hz） | 6.7×10-2（氣鎮閥關(guan) 閉） 6.7（氣鎮閥打開） | KF-25 | 13.9 | 165.5×399×222.7 | 200 | 單相100.115.200.220.230 |
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