日本ULVAC NB100A/300A/600A/1200A羅茨泵

簡要描述：羅茨泵與(yu) 油旋片真空泵、水環泵組合用，可在壓力1.3×103~1.3×10-1Pa範圍內(nei) 提高抽氣速率。NB係列羅茨泵是專(zhuan) 為(wei) 潔淨度要求較高的場合而設計的。

產(chan) 品型號： NB100A/300A/600A/1200A

所屬分類：真空泵

更新時間：2024-12-05

廠商性質：生產(chan) 廠家

詳情介紹

羅茨泵與(yu) 油旋片真空泵、水環泵組合用，可在壓力1.3×103~1.3×10-1Pa範圍內(nei) 提高抽氣速率。NB係列羅茨泵是專(zhuan) 為(wei) 潔淨度要求較高的場合而設計的。

日本ULVAC NB100A/300A/600A/1200A羅茨泵特長
結淨的真空
腔體(ti) 內(nei) 沒有潤滑油，對水蒸氣、溶劑等氣體(ti) 也有穩定的排氣性能。
能在高吸入壓強下運轉
選用比標準電機容量大一級的電機，即可實現在高吸入壓強下的運轉。

日本ULVAC NB100A/300A/600A/1200A羅茨泵用途
照明、電子、光學、半導體(ti) 鍍膜、濺射、離子鍍、液晶注入真空幹燥、冷凍幹燥、真空脫氣真空熱處理爐、燒結爐、釺焊爐分析儀(yi) 器、檢漏設備，CO2激光設備

機型			NB100A	NB300A	NB600A	NB1200A
項目
抽氣速率^*3 m³/h（L/min）		50Hz	95（1580）	280（4670）	500（8330）	1000（16667）
		60Hz	115（1920）	330（5500）	600（10000）	1200（20000）
zui大吸入壓力 Pa （連續運轉時）		50Hz	1.3×10³	1.2×10³	1.3×10³
		60Hz	1.3×10³	9.3×10²	1.1×10³
zui大允許壓力差 Pa （排出壓力-吸入壓力）		50Hz	8.0×10³	4.0×10³	7.3×10³
		60Hz	6.7×10³	3.3×10³	6.0×10³
極限壓力 Pa^*1			4.0×10^‐¹			6.7×10^‐¹
標準粗抽泵			GLD-N280 VDN301	VDN401	VSN1501 VSN2401	VSN1501 VSN2401
電機	kW （極） ^{2 4}		0.4（2）	0.75（2）	2.2（2）	3.7（2）
	V-Hz		380/400/415V-50Hz、380/400/440V-60Hz
使用油			ULVOIL^® R-4
所需油量 L			0.35	0.70	1.50	1.90
冷卻水量 L/min^*6			空冷	2 ^*5	2	3
進水壓力 MPa			－		0.3
進出水壓差 MPa			－	0.05	0.1
重量 kg			24	49	77.5	110
吸氣口徑（JIS B 2290）			相當 VG50	相當 VG80	相當VG80	相當VG100
排氣口徑（JIS B 2290）			相當VF50	相當VF80	相當VF80	相當VF80