日本ULVAC DVS-321/631/DVT-300渦旋型幹式真空泵特性
◇潔淨真空
由於(yu) 無油、不會(hui) 返流至泵內(nei) ,因此可以得到潔淨的真空。
◇低噪音、低振動
渦線管優(you) 良的平衡性,降低了噪音和振動。
◇無需日常換油
由於(yu) 不使用泵油,大幅減少了日常保養(yang) 。
◇無需冷卻水
由於(yu) 是空冷構造,安裝時真空泵隻需接通電源就能工作,無需水冷管。
◇高效壓縮的渦線管節省了能源和運轉成本。
◇保養(yang) 周期長
為(wei) 避免機械損耗,選用耐用材料,密封件確保能夠連續運轉。
日本ULVAC DVS-321/631/DVT-300渦旋型幹式真空泵應用
◇可用於(yu) 半導體(ti) 製造的負載鎖定室
◇電子顯微鏡的前級泵
◇幹式真空的前級泵
◇真空幹燥、冷凍幹燥係統
◇排氣、真空注入係統
◇真空蒸溜、真空凝縮
◇測量器械
◇真空加固
◇真空塗層係統
◇電子杠杆工程、激光杠杆機
型 號 | 實際排氣速度(L/min.) | 極限壓力 (Pa) | 吸/排氣管徑 (mm) | 重量 (kg) | 外形尺寸 W×L×H(mm) | 電機 | 極限蒸氣壓 (g/hr) | |
功率(W) | 可選電壓(V) | |||||||
※ DVS-321 | 265/320 (50/60Hz) | ≤1.5(當選購件孔徑D1.0≤3.0) | KF-25/KF-16 | 35 | 300×398×354 | 400 | 單相 100~115.200~230 | ≤2.0(當選購件孔徑D1.0≤2.3) |
DVS-631 | 525/630 (50/60Hz) | ≤1.0(當選購件孔徑D1.5≤2.5) | KF-40/KF-25 | 41 | 326×535×367 | 600 | 單相100/200.220 | ≤2.0(當選購件孔徑D1.0≤2.3) |
44 | 326×586×367 | 三相200 | ||||||
DVT-300 | 300 | ≤6.7 | KF-25/KF-16 | 26 | 257×273×509 | 400 | 單相100.200 三相200 | ------- |