潔淨室懸浮粒子的測試方法

采用計數濃度法，即通過測定潔淨環境內(nei) 單位體(ti) 積空氣中含大於(yu) 或等於(yu) 某粒徑的懸浮粒子數，來評定潔淨室（區）的懸浮粒子潔淨度等級。

（1）測試要點

A、 儀(yi) 器開機後，預熱至穩定後，方可按照使用說明書(shu) 的規定對儀(yi) 器進行校正。（自檢、自校、零計數）

B、  采樣管口置采樣點采樣時，在確認計數穩定後方可開始連續讀數。

C、  采樣管必須幹淨，嚴(yan) 禁滲漏。

D、  采樣管的長度應根據儀(yi) 器的允許長度。除另有規定外，長度不得大於(yu) 1.5 m。（我們(men) 儀(yi) 器無采樣管）

E、  計數器采樣口和儀(yi) 器的工作位置應處在同一氣壓和溫度下，以免產(chan) 生測量誤差。

F、  必須按照儀(yi) 器的檢定周期，定期對儀(yi) 器作檢定。（視儀(yi) 器本身特點、使用頻率、使用環境等決(jue) 定。）

（2）測試條件

A、  潔淨室（區）的溫度和相對濕度應與(yu) 其生產(chan) 及工藝要求相適應。（溫度：18～24℃；濕度45～60%）

B、  空氣潔淨度不同的潔淨室（區）之間的壓差應≥4.9Pa，空氣潔淨度級別要求高的潔淨室（區）對相鄰的空氣潔淨度級別低的潔淨室（區）一般要求呈相對正壓。

C、  靜態測試時，室內(nei) 的測試人員不得多於(yu) 2人，測試報告中應標明測試時所采用的狀態。

D、  對於(yu) 單向流，測試應在淨化空氣調節係統正常運行時間不少於(yu) 10min後開始，非單向流要不少於(yu) 30min後開始。

（3）采樣點數目及其布置

A、zui少采樣點數目

麵積㎡	潔淨度級別
	100	10,000	100,000
＜10	2～3	2	2
≥10～＜20	4	2	2
≥20～＜40	8	2	2
≥40～＜100	16	4	2
≥100～＜200	40	10	3
≥200～＜400	80	20	6
≥400～＜1000	160	40	13
≥1000～＜2000	400	100	32
2000	800	200	63
注：表中的麵積，對於(yu) 單向流潔淨室，指的是送風麵積；對於(yu) 非單向流潔淨室，指的是房間麵積。

B、采樣點的位置

采樣點一般在離地麵0.8m高度的水平麵上均勻布置；采樣點多於(yu) 5點時，也可以在離地麵0.8m～1.5m高度的區域內(nei) 布置，但每層不少於(yu) 5點。

C、采樣點的限定

對任何小潔淨室或局部空氣淨化區域，采樣點的數目不得少於(yu) 2個(ge) ，總采樣次數不得少於(yu) 5次。每個(ge) 采樣點的采樣次數可以多於(yu) 1次，且不同采樣點的采樣次數可以不同。

D、采樣量

潔淨度級別	采樣量，L/次
	≥0.5um	≥5um
100	5.66	—
10,000	2.83	8.5
100,000	2.83	8.5

注意：確認潔淨室（區）送風量和壓差達到要求後，進行采樣；對於(yu) 單向流，計數器采樣管口朝向應正對氣流方向，對於(yu) 非單向流，采樣管口宜朝上；布置采樣點時，應避開回風口；采樣時，測試人員應在采樣口的下風側(ce) 。

（4）結果計算

A、采樣點的平均粒子濃度

A=	C1+C2+…+Cn
	N

    式中：A ——某一采樣點的平均粒子濃度，粒（個(ge) ）/立方米；

          Ci——某一采樣點的粒子濃度（I=1,2,3,…,n），粒（個(ge) ）/立方米；

          N ——某一采樣點上的采樣次數，次；

B、平均值的均值

M=	A1+A2+…+An
	L

    式中：M ——平均值的均值，即潔淨室（區）的平均粒子濃度，粒（個(ge) ）/立方米；

          Ai——某一采樣點的平均粒子濃度（I=1,2,3,…,n），粒（個(ge) ）/立方米；

          L ——某一潔淨室（區）內(nei) 的總采樣點數，個(ge) ；

    C、標準誤差

SE=	（A1-M）2+（A2-M）2+…（AL-M）2
	L（L-1）

式中：SE——平均值均值的標準誤差，粒（個(ge) ）/立方米；

    D、置信上限

從(cong) 正態分布抽樣得到的實際均值按給定的置信度（此處為(wei) 95%）計算得到的估計上限將大於(yu) 此實際均值，則稱計算得到的這一均值估計上限為(wei) 置信上限。

UCL=M+t×SE

式中：UCL——平均值均值的95%置信上限，粒（個(ge) ）/立方米；

       t ——95%置信上限的t分布係數，見下表

采樣點數L	2	3	4	5	6	7	8	9	＞9
t	6.31	2.92	2.35	2.13	2.02	1.94	1.90	1.86	—
注：當采樣點數多於(yu) 9點時，不需要計算UCL。

   （5）結果評定

判斷懸浮粒子潔淨度級別應依據以下兩(liang) 個(ge) 條件：

A、  每個(ge) 采樣點的平均粒子濃度必須低於(yu) 或等於(yu) 規定的級別界限，即Ai≤級別界限。

B、  全部采樣點的粒子濃度平均值均值的95%置信上限必須低於(yu) 或等於(yu) 規定的級別界限，

即UCL≤級別界限。