氣體(ti) 激光器發明於(yu) 1960年,而半導體(ti) 激光器發明於(yu) 1962年。開始時這些激光器很貴,但是隨著它們(men) 變成具有經濟效益時,在粒子計數器中,就用氣體(ti) 激光取代了白光。而到了20世紀80年代末,在絕大多數場合下,更便宜的半導體(ti) 激光器又取代了氣體(ti) 激光器。 日本加野麥克斯研發生產(chan) 出激光粒子計數器。
用於(yu) 粒子計數的激光器有兩(liang) 種:一種是氣體(ti) 激光器,如氦氖(HeNe)激光器和氬離子(argon-ion)激光器;另外就是半導體(ti) 激光器。氣體(ti) 激光器能夠生產(chan) 強烈的單色光,有時甚至是偏振光。氣體(ti) 激光器產(chan) 生準直高斯光束,而半導體(ti) 激光器則產(chan) 生出一個(ge) 小的發散點光源,通常發散光有兩(liang) 個(ge) 不同的軸,並且總是出現多種模式。由於(yu) 發散光具有多軸性,半導體(ti) 激光器通常都有一個(ge) 橢圓形的輸出,這帶來了一定的挑戰,也帶來了一定的優(you) 勢。不同軸的散射光意味著要麽(me) 勉強接受這一橢圓形的輸出,要麽(me) 設計一套複雜而昂貴的光學鏡來做補償(chang) 。另一方麵,橢圓光束很適合用於(yu) 某些應用,利用長軸,可以得到更好的覆蓋範圍。
總之,氦氖激光器的輸出“直接可用”,無需增加任何光學元件。要想產(chan) 生類似於(yu) 氦氖激光器的光束,從(cong) 半導體(ti) 激光器出來的光必須經過透鏡聚焦,這會(hui) 導致光能的損耗。但是,半導體(ti) 激光器的成本低、體(ti) 積小、工作電壓低、功耗小,成為(wei) 粒子計數器的*選擇。
在要求高靈敏度的應用中,氦氖激光器可以用於(yu) 開式腔模式,產(chan) 生很大的功率。因為(wei) 樣本要通過光學空腔諧振器,當粒子濃度較高時,激光會(hui) 中斷(無法維持“Q”因子),所以此時這種類型的激光不適用。