日本ULVAC CFB-1200複合分子泵技術參數

發布時間： 2015-12-29　　點擊次數： 1050次

日本ULVAC CFB-1200複合分子泵一、產(chan) 品簡介

複合分子泵是靠高速轉動的轉子攜帶氣體(ti) 分子獲得超高真空的一種機械真空泵，是由渦輪分子泵和盤式牽引泵組合而成，它同時具有渦輪分子泵分子流時抽速大、壓縮比高，牽引泵高壓強時抽速大、壓縮比高的特點，擴展了分子泵的應用範圍，廣泛應用於(yu) 光伏、照明、航天航空、半導體(ti) 、能源、軍(jun) 工、激光、家電、材料、汽車、科研等真空技術的各個(ge) 領域。

日本ULVAC CFB-1200複合分子泵二、產(chan) 品特點

複合分子泵對被抽氣體(ti) 無選擇性、無記憶效應；由於(yu) 對分子量大的氣體(ti) 有很高的壓縮比，因此該泵不需要冷阱和捕油擋板即可獲得清潔的高真空和超高真空。

日本ULVAC CFB-1200複合分子泵三、主要性能指標

型號		CFB-1200
訂貨號		3153	3154
進氣口法蘭(lan)	—	LF200	CF200
排氣口法蘭(lan)	—	KF40
抽氣速率	L/s	1200
壓縮比N2/H2	—	1×109/1×104
極限壓強	Pa	5×10-7	8×10-8
電機轉速	rpm	24000
啟動時間	min	＜5
振動值	μm	≤0.1
前極泵	L/s	8-15
冷卻水溫度	℃	≤20
泵體(ti) 烘烤溫度	℃	<120
冷卻水流量	L/min	1
加熱器功率	W	<600
加熱器輸入電壓	V	AC220
安裝方向	—	垂直±5°
重量	kg	～34

四、特性曲線及安裝尺寸

CFB係列複合分子泵安裝尺寸表

型號規格	CFB-1200
進氣口法蘭(lan)	LF200	CF200
D1	Ф240	Ф253
D2	Ф267	Ф267
D3	□167.6	□167.6
L1	142	142
L2	152	152
H1	393	393
H2	108	108
H3	135.5	135.5
H4	104	104
泵腿螺釘孔	4-M8	4-M8

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