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日本ULVAC CFB-1600F風冷複合分子泵技術參數

發布時間: 2015-12-29  點擊次數: 1032次

日本ULVAC CFB-1600F風冷複合分子泵 一、產(chan) 品簡介

        CFB-F係列風冷複合分子泵的性能與(yu) 複合分子泵一樣,適用於(yu) 沒有水源且環境溫度不高的地方,或經常移動的排氣機組等。

 

日本ULVAC CFB-1600F風冷複合分子泵 二、產(chan) 品特點

        複合分子泵對被抽氣體(ti) 無選擇性、無記憶效應;由於(yu) 對分子量大的氣體(ti) 有很高的壓縮比,因此該泵不需要冷阱和捕油擋板即可獲得清潔的高真空和超高真空。

 

日本ULVAC CFB-1600F風冷複合分子泵 三、主要性能指標

 

型號

CFB-1600F

訂貨號

3167

3168

進氣口法蘭(lan)

LF250

CF250

排氣口法蘭(lan)

KF50

抽氣速率

L/s

1600

壓縮比N2/H2

1×109/1×104

極限壓強

Pa

5×10-7

8×10-8   

電機轉速

rpm

24000

啟動時間

min

<6

振動值

μm

≤0.15

前極泵

L/s

15

冷卻方式

風冷(環境溫度<37℃)

泵體(ti) 烘烤溫度

<120

加熱器功率

W

<700

加熱器輸入電壓

V

AC220

安裝方向

垂直±5°

重量

kg

~39

 

四、特性曲線及安裝尺寸

 

 

 

CFB係列風冷複合分子泵安裝尺寸表

 

型號規格

CFB-1600F

高真空法蘭(lan)

LF250

CF250

D1

Ф290

Ф305

D2

Ф296

Ф296

D3

□183.8

□183.8

L1

161

161

L2

166

166

H1

467

467

H2

70

70

H3

185.5

185.5

H4

153

153

泵腿螺釘孔

4-M8

4-M8