真空名詞術語

1、真空的定義(yi)

　　真空係統指低於(yu) 該地區大氣壓的稀簿氣體(ti) 狀態

　　2、真空度

　　處於(yu) 真空狀態下的氣體(ti) 稀簿程度，通常用“真空度高"和“真空度低"來表示。真空度高表示真空度“好"的意思，真空度低表示真空度“差"的意思。

　　3、真空度單位

　　通常用托（Torr）為(wei) 單位，近年上取用帕（Pa）作為(wei) 單位。

　　1托＝1/760大氣壓＝1毫米汞柱

　　4、托與(yu) 帕的轉換

　　1托＝133.322帕　或　1帕＝7.5×10^-3托

　　5、平均自由程

　　作無規則熱運動的氣體(ti) 粒子，相繼兩(liang) 次碰撞所飛越的平均距離，用符號“λ"表示。

　　6、流量

　　單位時間流過任意截麵的氣體(ti) 量，符號用“Q"表示，單位為(wei) 帕·升/秒（Pa·L/s）或托·升/秒（Torr·L/s）。

　　7、流導

　　表示真空管道通過氣體(ti) 的能力。單位為(wei) 升/秒（L/s），在穩定狀態下，管道流導等於(yu) 管道流量除以管道兩(liang) 端壓強差。符號記作“U"。 　　U＝Q/(P₂- P₁)

　　8、壓力或壓強

　　氣體(ti) 分子作用於(yu) 容器壁的單位麵積上的力，用“P"表示。

　　9、標準大氣壓

　　壓強為(wei) 每平方厘米101325達因的氣壓，符號：（Atm）。

　　10、極限真空

　　真空容器經充分抽氣後，穩定在某一真空度，此真空度稱為(wei) 極限真空。通常真空容器須經12小時煉氣，再經12小時抽真空，zui後一個(ge) 小時每隔10分鍾測量一次，取其10次的平均值為(wei) 極限真空值。

　　11、抽氣速率

　　在一定的壓強和溫度下，單位時間內(nei) 由泵進氣口處抽走的氣體(ti) 稱為(wei) 抽氣速率，簡稱抽速。即S_p＝Q/（P－P₀）

　　12、熱偶真空計

　　利用熱電偶的電勢與(yu) 加熱元件的溫度有關(guan) ，元件的溫度又與(yu) 氣體(ti) 的熱傳(chuan) 導有關(guan) 的原理來測量真空度的真空計。

　　13、電離真空計（又收熱陰極電離計）

　　由筒狀收集極，柵網和位於(yu) 柵網中心的燈絲(si) 構成，筒狀收集極在柵網外麵。熱陰極發射電子電離氣體(ti) 分子，離子被收集極收集，根據收集的離子流大小來測量氣體(ti) 壓強的真空計。

　　14、複合真空計

　　由熱偶真空計與(yu) 熱陰極電離真空計組成，測量範圍從(cong) 大氣~10^-5Pa。

　　15、冷陰極電離計

　　陽極筒的兩(liang) 端有一對陰極板，在外加磁場作用，陽極筒內(nei) 形成潘寧放電產(chan) 生離子，根據陰極板收集的離子流的大小來測定氣體(ti) 壓強的真空計。

　　16、電阻真空計

　　利用加熱元件的電阻與(yu) 溫度有關(guan) ，元件的溫度又與(yu) 氣體(ti) 傳(chuan) 導有關(guan) 的原理，通過電橋電路來測量真空度的真空計。

　　17、麥克勞真空計（壓縮式真空計）

　　將待測的氣體(ti) 用汞（或油）壓縮到一極小體(ti) 積，然後比較開管和閉管的液柱差，利用玻義(yi) 爾定律直接算出氣體(ti) 壓強的一種真空計。

　　18、B－A規

　　這是一種陰極與(yu) 收集極倒置的熱陰極電離規。收集極是一根細絲(si) ，放在柵網中心，燈絲(si) 放在柵網外麵，因而減少軟X射線影響，延伸測量下限，可測超高真空。

　　19、水環真空泵

　　泵的葉輪轉子旋轉而產(chan) 生水環。由於(yu) 轉子偏心旋轉而使水環與(yu) 葉片間容積發生周期性改變而進行抽氣的機械真空泵。

　　20、往複真空泵

　　利用活塞的往複運動而進行抽氣的機械真空泵。

　　21、油封機械真空泵

　　用油來保持密封的機械真空泵，可分為(wei) 定片式、旋片式、滑閥式、餘(yu) 擺線式等。

　　22、羅茨真空泵

　　具有一對同步高速旋轉的鞋底形轉子的機械真空泵，此泵不可以單獨抽氣，前級需配油封、水環等可直排大氣的真空泵。

　　23、渦輪分子真空泵

　　有一高速旋轉的葉輪，當氣體(ti) 分子與(yu) 高速旋轉的渦輪葉片相碰撞時就被驅向出氣口再由前級泵抽除。

　　24、油擴散真空泵

　　擴散泵噴口中噴出高速蒸汽流。在分子流條件下，氣體(ti) 分子不斷地向蒸流中擴散，並被蒸汽帶向泵出口處逐級被壓縮後再由前級泵排除。

　　25、低溫真空泵

　　利用20K以下的低溫表麵凝聚吸附氣體(ti) 的真空泵。

　　26、冷阱（水冷擋板）

　　置於(yu) 真空容器和泵之間，用於(yu) 吸附氣體(ti) 或捕集油蒸汽的裝置。

　　27、氣鎮閥

　　油封機械真空泵的壓縮室上開一小孔，並裝上調節閥，當打開閥並調節入氣量，轉子轉到某一位置，空氣就通過此孔摻入壓縮室以降低壓縮比，從(cong) 而使大部分蒸汽不致凝結而和摻入的氣體(ti) 一起被排除泵外起此作用的閥門稱為(wei) 氣鎮閥。

　　28、真空冷凍幹燥

　　真空冷凍幹燥，也稱升華幹燥。其原理是將材料冷凍，使其含有的水份變成冰塊，然後在真空下使冰升華而達到幹燥目的。

　　29、真空蒸鍍

　　在真空環境中，將材料加熱並鍍到基片上稱為(wei) 真空蒸鍍，或叫真空鍍膜。

　　30、真空幹燥

　　利用真空環境下沸點低的特點來幹燥物品的方法。

　　31、真空係統常用名稱

　　(1)主泵：在真空係統中，用於(yu) 獲得所需要真空度來滿足特定工藝要求的真空泵，如真空鍍膜機中的油擴散泵就是主泵。

　　(2)前級泵：用於(yu) 維持某一真空泵前級壓強低於(yu) 其臨(lin) 界前級壓強的真空泵。如羅茨泵前配置的旋片或滑閥泵就是前級泵。

　　(3)粗抽泵：從(cong) 大氣壓下開始抽氣，並將係統壓力抽到另一真空泵開始工作的真空泵。如真空鍍膜機中的滑閥泵，就是粗油泵。

　　(4)維持泵：在真空係統中，氣量很小時，不能有效地利用前級泵。為(wei) 此配置一種容量較小的輔助泵來維持主泵工作，此泵叫維持泵。如擴散泵出口處配一台小型旋片泵，就是維持泵。