潔淨室（區）懸浮粒子的測試方法

采用計數濃度法，即通過塵埃粒子計數器測定潔淨環境內(nei) 單位體(ti) 積空氣中含大於(yu) 或等於(yu) 某粒徑的懸浮粒子數，來評定潔淨室（區）的懸浮粒子潔淨度等級。

（ 1 ）測試要點

•  儀(yi) 器開機後，預熱至穩定後，方可按照使用說明書(shu) 的規定對儀(yi) 器進行校正。（自檢、自校、零計數）

•  采樣管口置采樣點采樣時，在確認計數穩定後方可開始連續讀數。

•  采樣管必須幹淨，嚴(yan) 禁滲漏。

•  采樣管的長度應根據儀(yi) 器的允許長度。除另有規定外，長度不得大於(yu) 1.5 m 。（我們(men) 儀(yi) 器無采樣管）

•  計數器采樣口和儀(yi) 器的工作位置應處在同一氣壓和溫度下，以免產(chan) 生測量誤差。

•  必須按照儀(yi) 器的檢定周期，定期對儀(yi) 器作檢定。（視儀(yi) 器本身特點、使用頻率、使用環境等決(jue) 定。）

（ 2 ）測試條件

•  潔淨室（區）的溫度和相對濕度應與(yu) 其生產(chan) 及工藝要求相適應。（溫度： 18 ～ 24 ℃；濕度 45 ～ 60% ）

•  空氣潔淨度不同的潔淨室（區）之間的壓差應≥ 4.9Pa ，空氣潔淨度級別要求高的潔淨室（區）對相鄰的空氣潔淨度級別低的潔淨室（區）一般要求呈相對正壓。

•  靜態測試時，室內(nei) 的測試人員不得多於(yu) 2 人，測試報告中應標明測試時所采用的狀態。

•  對於(yu) 單向流，測試應在淨化空氣調節係統正常運行時間不少於(yu) 10min 後開始，非單向流要不少於(yu) 30min 後開始。

（ 3 ）采樣點數目及其布置

A 、zui少采樣點數目

麵積㎡	潔淨度級別
	100	10,000	100,000
＜ 10	2 ～ 3	2	2
≥ 10 ～＜ 20	4	2	2
≥ 20 ～＜ 40	8	2	2
≥ 40 ～＜ 100	16	4	2
≥ 100 ～＜ 200	40	10	3
≥ 200 ～＜ 400	80	20	6
≥ 400 ～＜ 1000	160	40	13
≥ 1000 ～＜ 2000	400	100	32
2000	800	200	63
注：表中的麵積，對於(yu) 單向流潔淨室，指的是送風麵積；對於(yu) 非單向流潔淨室，指的是房間麵積。

B 、采樣點的位置

采樣點一般在離地麵 0.8m 高度的水平麵上均勻布置；采樣點多於(yu) 5 點時，也可以在離地麵 0.8 m ～ 1 . 5m 高度的區域內(nei) 布置，但每層不少於(yu) 5 點。

C 、 采樣點的限定

對任何小潔淨室或局部空氣淨化區域，采樣點的數目不得少於(yu) 2 個(ge) ，總采樣次數不得少於(yu) 5 次。每個(ge) 采樣點的采樣次數可以多於(yu) 1 次，且不同采樣點的采樣次數可以不同。

D 、 采樣量

潔淨度級別	采樣量， L/ 次
	≥ 0. 5 um	≥ 5 um
100	5.66	—
10,000	2.83	8.5
100,000	2.83	8.5

注意： 確認潔淨室（區）送風量和壓差達到要求後，進行采樣；對於(yu) 單向流，計數器采樣管口朝向應正對氣流方向，對於(yu) 非單向流，采樣管口宜朝上；布置采樣點時，應避開回風口；采樣時，測試人員應在采樣口的下風側(ce) 。

（ 4 ） 結果計算

A 、采樣點的平均粒子濃度

A=	C 1 +C 2 + … +Cn
	N

式中： A ——某一采樣點的平均粒子濃度，粒（個(ge) ） / 立方米；

Ci ——某一采樣點的粒子濃度 （I=1,2,3, … ,n） ， 粒（個(ge) ） / 立方米；

N ——某一采樣點上的采樣次數，次；

B 、平均值的均值

M=	A 1 +A 2 + … +An
	L

式中： M ——平均值的均值，即潔淨室（區）的平均粒子濃度，粒（個(ge) ） / 立方米；

Ai ——某一采樣點的平均粒子濃度 （I=1,2,3, … ,n） ， 粒（個(ge) ） / 立方米；

L ——某一潔淨室（區）內(nei) 的總采樣點數，個(ge) ；

C 、標準誤差

SE=	（A 1 -M） 2 +（A 2 -M） 2 + … （A L -M） 2
	L（L-1）

式中： SE ——平均值均值的標準誤差，粒（個(ge) ） / 立方米；

D 、置信上限

從(cong) 正態分布抽樣得到的實際均值按給定的置信度（此處為(wei) 95% ）計算得到的估計上限將大於(yu) 此實際均值，則稱計算得到的這一均值估計上限為(wei) 置信上限。

UCL=M+t × SE

式中： UCL ——平均值均值的 95% 置信上限，粒（個(ge) ） / 立方米；

t —— 95% 置信上限的 t 分布係數，見下表

采樣點數 L	2	3	4	5	6	7	8	9	＞ 9
t	6.31	2.92	2.35	2.13	2.02	1.94	1.90	1.86	—
注：當采樣點數多於(yu) 9 點時，不需要計算 UCL 。

（ 5 ）結果評定

判斷懸浮粒子潔淨度級別應依據以下兩(liang) 個(ge) 條件：

•  每個(ge) 采樣點的平均粒子濃度必須低於(yu) 或等於(yu) 規定的級別界限，即 Ai ≤級別界限。

•  全部采樣點的粒子濃度平均值均值的 95% 置信上限必須低於(yu) 或等於(yu) 規定的級別界限，

即 UCL ≤級別界限。